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Nonlinear optical properties of thin films of polysilane
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Contribution to the study of polysilanes for high-resolution photolithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Free volume effects in chemically amplified DUV positive resists
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Contribution to the study of polysilanes for photolithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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