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Impurity measurements in silicon with D-SIMS and atom probe tomography
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Depth profiling of emerging materials for semiconductor devices
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Lanthanum diffusion in the TiN/LaOx/HfSiO/SiO2/Si stack
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Quantitative analysis of one-dimensional dopant profile by electron holography
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Electron Holography of CMOS Devices with Epitaxial Layers
Veröffentlicht in Microscopy and microanalysis
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Threshold voltage control in NiSi-gated MOSFETs through SIIS
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Strained Si CMOS (SS CMOS) technology: opportunities and challenges
Veröffentlicht in Solid-state electronics
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Atom-Probe Tomography of Semiconductor Materials and Device Structures
Veröffentlicht in MRS bulletin
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Round-robin study of arsenic implant dose measurement in silicon by SIMS
Veröffentlicht in Applied surface science
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