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Real-time plasma process condition sensing and abnormal process detection
Veröffentlicht in Sensors (Basel, Switzerland)
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Mutual Capacitive Flexible Tactile Sensor for 3-D Image Control
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Capacitive Tactile Sensor for Angle Detection and Its Accuracy Study
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Real-time fault classification for plasma processes
Veröffentlicht in Sensors (Basel, Switzerland)
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A comb-drive actuator driven by capacitively-coupled-power
Veröffentlicht in Sensors (Basel, Switzerland)
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