-
1
Development of aluminum chemical mechanical planarization
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
VolltextArtikel -
2
Reinvestigation of first phase nucleation in planar metal-Si reaction couples
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
Two gates are better than one [double-gate MOSFET process]
Veröffentlicht in IEEE circuits and devices magazine
VolltextArtikel -
14
-
15
New insight into silicide formation: The creation of silicon self-interstitials
Veröffentlicht in Physical review letters
VolltextArtikel -
16
-
17
-
18
-
19
-
20