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Substrate-decoupled, bulk-acoustic wave gyroscopes: Design and evaluation of next-generation environmentally robust devices
von
Serrano, Diego E.
,
Zaman, Mohammad F.
,
Rahafrooz, Amir
,
Hrudey, Peter
,
Lipka, Ron
,
Younkin, Duane
,
Nagpal, Shin
,
Jafri, Ijaz
,
Ayazi, Farrokh
Veröffentlicht in
Microsystems & nanoengineering
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Ho, David S. P
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Lee, Hsiang-Bin
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Chen, Chun-Ying
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Chang, James Y. C
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Burns, Lawrence M
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Shin, Young Joon
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Pai, Patrick
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Koullias, Iconomos A
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Lipka, Ron
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KRAL ALEXANDRE
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