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Multi Trigger Resist for EUV Lithography
Veröffentlicht in Journal of Photopolymer Science and Technology
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Cisplatin adducts of DNA as precursors for nanostructured catalyst materials
Veröffentlicht in Nanoscale advances
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Multi Trigger Resist for EUV Lithography
Veröffentlicht in JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY
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Charged particle single nanometre manufacturing
Veröffentlicht in Beilstein journal of nanotechnology
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Fullerene Resist Materials for the 32 nm Node and Beyond
Veröffentlicht in Advanced functional materials
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Chemical Amplification of a Triphenylene Molecular Electron Beam Resist
Veröffentlicht in Advanced functional materials
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