Suchergebnisse - RO SOO-RYUN

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PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME von Yang, Young Hwan, Ro, Soo Ryun, Lee, Hak Jun, Kang, Jeong Seok

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2

Apparatus of inspecting focus ring and substrate processing apparatus including the same von HAN SE YEON, RO SOO RYUN

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3

SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE INCLUDING THE SAME von KANG JEONG SEOK, YANG YOUNG HWAN, RO SOO RYUN

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4

APPARATUS FOR OPTICAL EMISSION SPECTROSCOP von KANG JEONG SEOK, RO SOO RYUN, YANG YOUNG HWAN

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5

RING ASSEMBLY AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME von KANG JEONG SEOK, KIM DA HYUN, LEE HAK JUN, RO SOO RYUN

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6

Replacing consumables apparatus substrate processing system and method for replacing consumables von KANG JEONG SEOK, YANG YOUNG HWAN, RO SOO RYUN

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7

Substrate processing apparatus and method von KANG JEONG SEOK, LEE HAK JUN, KIM DA HYUN, RO SOO RYUN

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8

Method of detecting an end point of an in-situ dry cleaning process von KANG JEONG SEOK, HONG JUN PYO, YANG YOUNG HWAN, RO SOO RYUN

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Plasma processing apparatus and method for fabricating semiconductor device using the same von KANG JEONG SEOK, LEE HAK JUN, RO SOO RYUN, YANG YOUNG HWAN

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10

EDGE RING ASSEMBLY AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE von KANG JEONG SEOK, YANG YOUNG HWAN, RO SOO RYUN

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11

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS von YANG, Young Hwan, KANG, Jeong Seok, RO, Soo Ryun

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12

SUBSTRATE SUPPORT UNIT SUBSTRATE TREATING APPARAUTS INCLUDING THE SAME AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME von AN, JONG HWAN, RO, SOO RYUN, GU, JA MYUNG, NAM, SHIN WOO

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13

Plasma process apparatus and method of manufacturing semiconductor device using same von YANG YOUNG-HWAN, KANG JUNG-SEOK, LEE HAKJUN, RO SOO-RYUN

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14

Substrate support unit, substrate treating apparatus including same, and method for controlling same von GU JAM-YUNG, AN JONG-HWAN, NAM SHIN-WOO, RO SOO-RYUN

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PLASMA PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME von Yang, Young Hwan, Ro, Soo Ryun, Lee, Hak Jun, Kang, Jeong Seok

Apparatus of inspecting focus ring and substrate processing apparatus including the same von HAN SE YEON, RO SOO RYUN

SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE INCLUDING THE SAME von KANG JEONG SEOK, YANG YOUNG HWAN, RO SOO RYUN

APPARATUS FOR OPTICAL EMISSION SPECTROSCOP von KANG JEONG SEOK, RO SOO RYUN, YANG YOUNG HWAN

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Substrate processing apparatus and method von KANG JEONG SEOK, LEE HAK JUN, KIM DA HYUN, RO SOO RYUN

Method of detecting an end point of an in-situ dry cleaning process von KANG JEONG SEOK, HONG JUN PYO, YANG YOUNG HWAN, RO SOO RYUN

Plasma processing apparatus and method for fabricating semiconductor device using the same von KANG JEONG SEOK, LEE HAK JUN, RO SOO RYUN, YANG YOUNG HWAN

EDGE RING ASSEMBLY AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE von KANG JEONG SEOK, YANG YOUNG HWAN, RO SOO RYUN

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS von YANG, Young Hwan, KANG, Jeong Seok, RO, Soo Ryun

SUBSTRATE SUPPORT UNIT SUBSTRATE TREATING APPARAUTS INCLUDING THE SAME AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME von AN, JONG HWAN, RO, SOO RYUN, GU, JA MYUNG, NAM, SHIN WOO

Plasma process apparatus and method of manufacturing semiconductor device using same von YANG YOUNG-HWAN, KANG JUNG-SEOK, LEE HAKJUN, RO SOO-RYUN

Substrate support unit, substrate treating apparatus including same, and method for controlling same von GU JAM-YUNG, AN JONG-HWAN, NAM SHIN-WOO, RO SOO-RYUN

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