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OPTIC MEASURING SYSTEM, AND MEASURING METHOD OF CRITICAL SIZE OF NANOSTRUCTURES ON FLAT SURFACE
von
RJABKO MAKSIM VLADIMIROVICH
,
KOPTJAEV SERGEJ NIKOLAEVICH
,
RYCHAGOV MIKHAIL NIKOLAEVICH
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OPTICAL MEASUREMENT SYSTEM AND METHOD TO MEASURE CRITICAL SIZE
von
LANTSOV ALEKSEJ DMITRIEVICH
,
RJABKO MAKSIM VLADIMIROVICH
,
KOPTJAEV SERGEJ NIKOLAEVICH
,
SHCHERBAKOV ALEKSANDR VJACHESLAVOVICH
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FIBRE-OPTIC CURRENT SENSOR
von
STAROSTIN NIKOLAJ IVANOVICH
,
PRZHIJALKOVSKIJ JAN VLADIMIROVICH
,
BOEV ANTON IGOREVICH
,
MORSHNEV SERGEJ KONSTANTINOVICH
,
GUBIN VLADIMIR PAVLOVICH
,
RJABKO MAKSIM VLADIMIROVICH
,
SAZONOV ALEKSANDR IVANOVICH
,
CHAMOROVSKIJ JURIJ KONSTANTINOVICH
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Patent
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Esp@Cenet
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