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A Method of Performance Testing Working Parameters of a Fluid Handling Structure and A Method of Detecting Loss of Immersion Liquid from a Fluid Handing Structure in an Immersion L...
von
MIKE PAULUS JOHANNES VAN GILS
,
THEODORUS WILHELMUS POLET
,
JOHAN FRANCISCUS MARIA BECKERS
,
CORNELIUS MARIA ROPS
,
WOUTERUS JOZEPHUS JOHANNES VAN SLUISVELD
,
NIRUPAM BANERJEE
,
ERIK HENRICUS EGIDIUS CATHARINA EUMMELEN
,
RIK TEODOOR VANGHELUWE
,
GIOVANNI LUCA GATTOBIGIO
,
RONALD FRANK KOX
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2
Method of inspecting a substrate and method of preparing a substrate for lithography
von
VAN DOMMELEN YOURI JOHANNES LAURENTIUS MARIA
,
KNAAPEN THIJS EGIDIUS JOHANNES
,
DAVERVELD RALF MARTINUS MARINUS
,
GROUWSTRA CEDRIC DESIRE
,
ROMMERS JEROEN HUBERT
,
QUAEDACKERS JOHANNES ANNA
,
VANGHELUWE RIK TEODOOR
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Patent
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METHOD OF PERFORMANCE TESTING A FLUID HANDLING STRUCTURE
von
MIKE PAULUS JOHANNES VAN GILS
,
THEODORUS WILHELMUS POLET
,
JOHAN FRANCISCUS MARIA BECKERS
,
CORNELIUS MARIA ROPS
,
WOUTERUS JOZEPHUS JOHANNES VAN SLUISVELD
,
NIRUPAM BANERJEE
,
ERIK HENRICUS EGIDIUS CATHARINA EUMMELEN
,
RIK TEODOOR VANGHELUWE
,
GIOVANNI LUCA GATTOBIGIO
,
RONALD FRANK KOX
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LITHOGRAPHIC METHOD, APPARATUS AND CONTROLLER
von
DAVERVELD RALF MARTINUS MARINUS
,
PELLENS RUDY JAN MARIA
,
SINKWITZ STEPHAN EWALD
,
VANGHELUWE RIK TEODOOR
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5
LITHOGRAPHIC METHOD, APPARATUS AND CONTROLLER
von
DAVERVELD RALF MARTINUS MARINUS
,
PELLENS RUDY JAN MARIA
,
SINKWITZ STEPHAN EWALD
,
VANGHELUWE RIK TEODOOR
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6
METHOD OF INSPECTING SUBSTRATE, AND METHOD OF PREPARING SUBSTRATE FOR LITHOGRAPHY
von
VAN DOMMELEN YOURI JOHANNES LAURENTIUS MARIA
,
KNAAPEN THIJS EGIDIUS JOHANNES
,
DAVERVELD RALF MARTINUS MARINUS
,
QUAEDACKERS JOHANNES A
,
GROUWSTRA CEDRIC DESIRE
,
ROMMERS JEROEN HUBERT
,
VANGHELUWE RIK TEODOOR
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Patent
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7
Method of inspecting a substrate and method of preparing a substrate for lithography
von
VAN DOMMELEN YOURI JOHANNES LAURENTIUS MARIA
,
KNAAPEN THIJS EGIDIUS JOHANNES
,
DAVERVELD RALF MARTINUS MARINUS
,
GROUWSTRA CEDRIC DESIRE
,
ROMMERS JEROEN HUBERT
,
QUAEDACKERS JOHANNES ANNA
,
VANGHELUWE RIK TEODOOR
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