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    METHOD OF MANUFACTURING BOTTLE-TYPE DEEP TRENCH FOR SEMICONDUCTOR DEVICE

    METHOD OF MANUFACTURING BOTTLE-TYPE DEEP TRENCH FOR SEMICONDUCTOR DEVICE von RI KINZUI, SAI NENYU, HAYASHI AKIHIRO

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    METHOD FOR MAKING BOTTLE TYPE DEEP TRENCH

    METHOD FOR MAKING BOTTLE TYPE DEEP TRENCH von RI KINZUI, CHO HOSHU, SAI NENYU, HAYASHI AKIHIRO

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    WAFER FASTENING RING IN PLASMA REACTION CHAMBER HAVING CORROSION RESISTANT CHIP

    WAFER FASTENING RING IN PLASMA REACTION CHAMBER HAVING CORROSION RESISTANT CHIP von RI KINZUI, CHO MOKUSON, CHIN SOKI, SHO JINKEI

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    JP2993565B

    JP2993565B von CHIN SHUGI, SHO KIMIE, RI KINZUI, CHO MOKUSON

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    PLASMA REACTION CHAMBER HAVING EROSION RESISTANT SCREW

    PLASMA REACTION CHAMBER HAVING EROSION RESISTANT SCREW von RI KINZUI, JO BUTATSU, BOU TOKUKUN, RI HAKUSHO

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    CLAMP RING FOR FIXING WAFER

    CLAMP RING FOR FIXING WAFER von RI KINZUI, LIN SHIH-PO, KA KASHO, HAYASHI AKIHIRO

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