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Mechatronic Spatial Atomic Layer Deposition for Closed‐Loop and Customizable Process Control
von
Penley, Daniel
,
Cho, Tae H.
,
Brooks, Andre J.
,
Ransohoff, Lauren
,
Park, Hyunwoo
,
Herman, Ellis
,
Zhao, Enpei
,
Trejo, Orlando
,
Barton, Kira
,
Dasgupta, Neil P.
Veröffentlicht in
Advanced materials technologies
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MECHATRONIC SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION SYSTEM WITH CLOSED-LOOP FEEDBACK CONTROL OF PARALLELISM AND COMPONENT ALIGNMENT
von
TREJO, ORLANDO
,
BARTON, KIRA
,
RANSOHOFF, LAUREN
,
ROSE, MATTISON
,
HERMAN, ELLIS
,
BROOKS, ANDRE
,
DASGUPTA, NEIL
,
CHO, TAE H
,
PARK, HYUNWOO
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3
INTEGRATED ELECTROHYDRODYNAMIC JET PRINTING AND SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION SYSTEM FOR AREA-SELECTIVE ATOMIC LAYER DEPOSITION
von
ROSE, Mattison
,
CHO, Tae, H
,
HUBER, Carli
,
KAZYAK, Eric
,
DASGUPTA, Neil
,
TREJO, Orlando
,
PANNIER, Christopher, P
,
BARTON, Kira
,
RANSOHOFF, Lauren
,
HERMAN, Ellis
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MECHATRONIC SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION SYSTEM WITH CLOSED-LOOP FEEDBACK CONTROL OF PARALLELISM AND COMPONENT ALIGNMENT
von
ROSE, Mattison
,
CHO, Tae
,
PARK, Hyunwoo
,
DASGUPTA, Neil
,
TREJO, Orlando
,
HERMAN, Ellis
,
RANSOHOFF, Lauren
,
BARTON, Kira
,
BROOKS, Andre
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Patent
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INTEGRATED ELECTROHYDRODYNAMIC JET PRINTING AND SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION SYSTEM FOR AREA-SELECTIVE ATOMIC LAYER DEPOSITION
von
ROSE, Mattison
,
CHO, Tae, H
,
HUBER, Carli
,
KAZYAK, Eric
,
DASGUPTA, Neil
,
TREJO, Orlando
,
PANNIER, Christopher, P
,
BARTON, Kira
,
RANSOHOFF, Lauren
,
HERMAN, Ellis
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Integrated electrohydrodynamic jet printing and spatial atomic layer deposition system for area selective-atomic layer deposition
von
Rose, Mattison
,
Barton, Kira
,
Kazyak, Eric
,
Dasgupta, Neil
,
Ransohoff, Lauren
,
Herman, Ellis
,
Trejo, Orlando
,
Pannier, Christopher P
,
Huber, Carli
,
Cho, Tae H
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Patent
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INTEGRATED ELECTROHYDRODYNAMIC JET PRINTING AND SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION SYSTEM FOR AREA-SELECTIVE ATOMIC LAYER DEPOSITION
von
ROSE, Mattison
,
CHO, Tae
,
PANNIER, Christopher
,
HUBER, Carli
,
KAZYAK, Eric
,
DASGUPTA, Neil
,
TREJO, Orlando
,
BARTON, Kira
,
RANSOHOFF, Lauren
,
HERMAN, Ellis
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INTEGRATED ELECTROHYDRODYNAMIC JET PRINTING AND SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION SYSTEM FOR AREA SELECTIVE-ATOMIC LAYER DEPOSITION
von
Rose, Mattison
,
Barton, Kira
,
Dasgupta, Neil
,
Kazyak, Erik
,
Ransohoff, Lauren
,
Herman, Ellis
,
Trejo, Orlando
,
Pannier, Christopher P
,
Huber, Carli
,
Cho, Tae H
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