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Effect of Water Addition to Choline Chloride―Urea Deep Eutectic Solvent (DES) on the Removal of Post-Etch Residues Formed on Copper
von
RAMALEKSHMI THANU, Dinesh Padmanabhan
,
RAGHAVAN, Srini
,
KESWANI, Manish
Veröffentlicht in
IEEE transactions on semiconductor manufacturing
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Effect of Water Addition to Choline Chloride-Urea Deep Eutectic Solvent (DES) on the Removal of Post-Etch Resid ues Formed on Copper
von
Thanu, Dinesh Padmanabhan Ramalekshmi
,
Raghavan, Srini
,
Keswani, Manish
Veröffentlicht in
IEEE transactions on semiconductor manufacturing
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Artikel
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3
Dilute HF Solutions for Copper Cleaning during BEOL Processes: Effect of Aeration on Selectivity and Copper Corrosion
von
Padmanabhan Ramalekshmi Thanu, Dinesh
,
Venkataraman, Nandini
,
Raghavan, Srini
,
Mahdavi, Omid
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Tagungsbericht
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4
SOLDER GRID ARRAY FOR ATTACHMENT OF A DIE PACKAGE
von
Zhang, Rui
,
Ayalasomayajula, Mukund
,
Lu, Xiao
,
Stover, Patrick Neel
,
Padmanabhan Ramalekshmi Thanu, Dinesh
,
Nickerson, Robert
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Patent
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5
Substrate integrated posts and heat spreader customization for enhanced package thermomechanics
von
Eid, Feras
,
Padmanabhan Ramalekshmi Thanu, Dinesh
,
Beatty, John J
,
Chan Arguedas, Sergio
,
Swan, Johanna M
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Patent
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6
Semiconductor package having sealant bridge
von
Li, Peng
,
Garner, Luke J
,
An, Yonghao
,
Cartas Ayala, Marco Aurelio
,
Dhavaleswarapu, Hemanth K
,
Padmanabhan Ramalekshmi Thanu, Dinesh
,
Beatty, John J
,
Guthikonda, Venkata Suresh
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Patent
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7
SUBSTRATE INTEGRATED POSTS AND HEAT SPREADER CUSTOMIZATION FOR ENHANCED PACKAGE THERMOMECHANICS
von
CHAN ARGUEDAS, Sergio
,
SWAN, Johanna M
,
EID, Feras
,
PADMANABHAN RAMALEKSHMI THANU, Dinesh
,
BEATTY, John J
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Patent
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8
THERMAL INTERFACE STRUCTURE HAVING AN EDGE STRUCTURE AND A THERMAL INTERFACE MATERIAL
von
RAORANE, Digvijay A
,
CHAN ARGUEDAS, Sergio A
,
EID, Feras
,
CHENEY, Robert F
,
PADMANABHAN RAMALEKSHMI THANU, Dinesh
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Patent
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9
SUBSTRATE INTEGRATED POSTS AND HEAT SPREADER CUSTOMIZATION FOR ENHANCED PACKAGE THERMOMECHANICS
von
SWAN, Johanna M
,
CHAN ARGUEDAS, Sergio A
,
PADMANABHAN RAMALEKSHMI THANU, Dinesh
,
EDI, Feras
,
BEATTY, John J
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Patent
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10
LÖTGITTERANORDNUNG ZUR ANBRINGUNG EINES DIE-GEHÄUSES
von
Zhang, Rui
,
Ayalasomayajula, Mukund
,
Lu, Xiao
,
Padmanabhan Ramalekshmi Thanu, Dinesh
,
Nickerson, Robert
,
Neel Stover, Patrick
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Patent
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11
SEMICONDUCTOR PACKAGE HAVING SEALANT BRIDGE
von
GUTHIKONDA, Venkata Suresh
,
CARTAS AYALA, Marco Aurelio
,
AN, Yonghao
,
LI, Peng
,
GARNER, Luke J
,
PADMANABHAN RAMALEKSHMI THANU, Dinesh
,
DHAVALESWARAPU, Hemanth K
,
BEATTY, John J
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Patent
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12
COOLING SOLUTION DESIGNS FOR MICROELECTRONIC PACKAGES
von
Garner, Luke J
,
Padmanabhan Ramalekshmi Thanu, Dinesh
,
Bicen, Baris
,
Dhavaleswarapu, Hemanth
,
Hu, Wei
,
Matayabas, JR., James C
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Patent
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13
SEMICONDUCTOR PACKAGE HAVING SEALANT BRIDGE
von
GUTHIKONDA, Venkata Suresh
,
AN, Yonghao
,
PENG, Li
,
GARNER, Luke J
,
DHAVALESWARAPU, Hemanth K
,
BEATTY, John J
,
AYALA, Marco Aurelio Cartas
,
THANU, Dinesh Padmanabhan Ramalekshmi
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14
Dilute HF Solutions for Copper Cleaning during BEOL Processes: Effect of Aeration on Selectivity and Copper Corrosion
von
Padmanabhan Ramalekshmi Thanu, Dinesh
,
Venkataraman, Nandini
,
Raghavan, Srini
,
Mahdavi, Omid
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
Volltext
Artikel
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15
BENIGN, LIQUID CHEMICAL SYSTEM-BASED BACK END OF LINE (BEOL) CLEANING
von
THANU DINESH PADMANABHAN RAMALEKSHMI
,
RAGHAVAN SRINI
,
KESWANI MANISH K
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Patent
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Ingenta Connect
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Institute Of Physics (Iop) Journals - Heal-Link
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Free Full-Text Journals In Chemistry
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Institute Of Physics Open Access Journal Titles
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