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Residual defects in Si produced by recoil implantation of oxygen
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Tapered windows in SiO 2 by ion implantation
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Tapered windows in SiO2by ion implantation
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Ion-implanted hyperabrupt junction voltage variable capacitors
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Self-aligned maskless chan stops for IGFET integrated circuits
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Fully ion-implanted bipolar transistors
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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An ion-implanted Schottky-barrier gate field-effect transistor
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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