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PREVAIL e-beam stepper alpha tool
von
Pfeiffer, H.C.
,
Dhaliwal, R.S.
,
Golladay, S.D.
,
Doran, S.K.
,
Gordon, M.S.
,
Kendall, R.A.
,
Lieberman, J.E.
,
Pinckney, D.J.
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Quickle, R.J.
,
Robinson, C.F.
,
Rockrohr, J.D.
,
Stickel, W.
,
Tressler, E.V.
,
Tanimoto, A.
,
Yamaguchi, T.
,
Okamoto, K.
,
Suzuki, K.
,
Miura, T.
,
Okino, T.
,
Kawata, S.
,
Morita, K.
,
Suzuki, S.C.
,
Shimizu, H.
,
Kojima, S.
,
Varnell, G.
,
Novak, W.T.
,
Sogard, M.
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Microelectronic engineering
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Projection reduction exposure with variable axis immersion lenses: Next generation lithography
von
Pfeiffer, H. C.
,
Dhaliwal, R. S.
,
Golladay, S. D.
,
Doran, S. K.
,
Gordon, M. S.
,
Groves, T. R.
,
Kendall, R. A.
,
Lieberman, J. E.
,
Petric, P. F.
,
Pinckney, D. J.
,
Quickle, R. J.
,
Robinson, C. F.
,
Rockrohr, J. D.
,
Senesi, J. J.
,
Stickel, W.
,
Tressler, E. V.
,
Tanimoto, A.
,
Yamaguchi, T.
,
Okamoto, K.
,
Suzuki, K.
,
Okino, T.
,
Kawata, S.
,
Morita, K.
,
Suziki, S. C.
,
Shimizu, H.
,
Kojima, S.
,
Varnell, G.
,
Novak, W. T.
,
Stumbo, D. P.
,
Sogard, M.
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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Perceived Self-Regulation and Individual Differences in Selective Attention
von
Diefendorff, James M
,
Lord, Robert G
,
Hepburn, Emily T
,
Quickle, Joseph S
,
Hall, Rosalie J
,
Sanders, Raymond E
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Journal of experimental psychology. Applied
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Journal Of Experimental Psychology. Applied
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Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures
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Journal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
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Journal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Ebscohost Business Source Complete
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Apa Psycarticles
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Social Sciences Citation Index (Web Of Science)
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Web Of Science
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Aip Digital Archive
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Ingentaconnect
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Aip Journals Complete
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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Journals@Ovid Complete
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