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Technologies for Cofabricating MEMS and Electronics von Fedder, Gary K., Howe, Roger T., Liu, Tsu-Jae King, Quevy, Emmanuel P.

Veröffentlicht in Proceedings of the IEEE

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Redundant MEMS resonators for precise reference oscillators von Quevy, E.P., Howe, R.T.

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Simulation tools for damping in high frequency resonators von Koyama, T., Bindel, D.S., Wei He, Quevy, E.P., Govindjee, S., Demmel, J.W., Howe, R.T.

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Silicon nanowire coupled micro-resonators von Arellano, N., Quevy, E.P., Provine, J., Maboudian, R., Howe, R.T.

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Aqueous Transduction of Poly-Sige Disk Resonators von Chandrahalim, H., Bhave, S.A., Quevy, E.P., Howe, R.T.

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Higher-order mode internal electrostatic transduction of a bulk-mode ring resonator on a quartz substrate von Ziaei-Moayyed, M., Hsieh, J., Chen, J.-W.P., Quevy, E.P., Elata, D., Howe, R.T.

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Reconstituted Wafer Technology for Heterogeneous Integration von Quevy, E.P., Howe, R.T., Tsu-Jae King

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Back-End-Of-Line Poly-Sige Disk Resonators von Quevy, E.P., San Paulo, A., Basol, E., Howe, R.T., Tsu-Jae King, Bokor, J.

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