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Thick PZT layers deposited by gas flow sputtering
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Galvanoplating and sacrificial layers for surface micromachining
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Low-temperature silicon wafer bonding
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One-level gray-tone design — Mask data preparation and pattern transfer
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High Frequency 1D Piezoelectric Resonant Microscanners with Large Displacements
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Fabrication of conducting AFM cantilevers with AlN-based piezoelectric actuators
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