-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
Elastic backscattering during boron implantation in Si1-xGex
Veröffentlicht in Vacuum
VolltextArtikel -
16
Elastic backscattering during boron implantation in Si1-Ge
Veröffentlicht in Vacuum
VolltextArtikel -
17
-
18
Elastic backscattering during boron implantation in Si1-xGex
Veröffentlicht in Vacuum
VolltextArtikel -
19
-
20