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A Review on Coupled Bulk Acoustic Wave MEMS Resonators
Veröffentlicht in Sensors (Basel, Switzerland)
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1 and 2-DoF AlN-on-SOI BAW Disk MEMS Resonant Sensors Operated at Contour Mode
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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1 and 2-DoF AlN-on-SOI BAW Disk MEMS Resonant Sensors Operated at Contour Mode
Veröffentlicht in Ieee Sensors Journal
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