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1
Electrophysical characteristics of power MOSFETs additionally implanted with nitrogen ions
von
Odzaev, Vladimir B.
,
Pyatlitski, Aliaksandr N.
,
Prasalovich, Uladislau S.
,
Kovalchuk, Natalya S.
,
Soloviev, Yaroslav A.
,
Shestovski, Dmitry V.
,
Yavid, Valentin Yu
,
Yankovski, Yuri N.
Veröffentlicht in
Journal of the Belarusian State University. Physics
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Artikel
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Influence of nitrogen ion implantation on the electrophysical properties of the gate dielectric of power MOSFETs
von
Odzaev, Vladimir B.
,
Panfilenka, Anatoli K.
,
Pyatlitski, Aliaksandr N.
,
Prasalovich, Uladislau S.
,
Kovalchuk, Natalya S.
,
Soloviev, Yaroslav A.
,
Filipenia, Viktar A.
,
Shestovski, Dmitry V.
Veröffentlicht in
Journal of the Belarusian State University. Physics
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Journal Of The Belarusian State University. Physics
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