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Ultrathin tunable terahertz absorber based on MEMS-driven metamaterial
Veröffentlicht in Microsystems & nanoengineering
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On-chip read-out of picomechanical motion under ambient conditions
Veröffentlicht in Nanoscale
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MEMS based hydrogen sensing with parts-per-billion resolution
Veröffentlicht in Sensors and actuators. B, Chemical
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Large Area Silicon-Air-Silicon DBRs for Infrared Filter Applications
Veröffentlicht in Journal of lightwave technology
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Atomic force microscopy with integrated on-chip interferometric readout
Veröffentlicht in Ultramicroscopy
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