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Plasma diagnostic of ion and plasma PVD processes
Veröffentlicht in Thin solid films
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Surface roughness characterization of smooth optical films deposited by ion plating
Veröffentlicht in Thin solid films
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The origin of mechanical stress in vacuum-deposited MgF2 and ZnS films
Veröffentlicht in Thin solid films
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Influence of Relevant Gas Pressure on the Properties of Ionplated Ta 2 O 5 Films. Einfluss relevanter Gasdrücke auf die Eigenschaften ionenplattierter Ta 2 O 5 Schichten
Veröffentlicht in Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten
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Stress measurements and calculations for vacuum- deposited MgF2 films
Veröffentlicht in Thin solid films
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Properties of reactively d.c.-magnetron-sputtered A1N thin films
Veröffentlicht in Thin solid films
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