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ATTENUATED TOTAL REFLECTION SPECTRA OF NITRIDED Si[O.sub.2]/Si STRUCTURES
Veröffentlicht in Journal of applied spectroscopy
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Formation of radiation defects in silicon at high-energy implantation
Veröffentlicht in Vacuum
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Dumping of electron heating effects in thermal oxides on Ge-doped silicon
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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