-
1
FTIR spectroscopy for the hermeticity assessment of micro-cavities
Veröffentlicht in Microelectronics and reliability
VolltextArtikel -
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
Characterization and modeling of a CMOS-compatible MEMS technology
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A, Physical
VolltextArtikel -
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19