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Phosphorous doped SOG as a pre-metal-dielectric for sub-50 nm technology nodes
von
Das, Arabinda
,
Stavrev, Momtchil
,
Prenz, Heike
,
Schardin, Markus
,
Uhlig, Ines
,
Graf, Werner
,
Sperlich, Hans-Peter
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APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING AN INTEGRATED CIRCUIT
von
LAHNOR PETER
,
PRENZ HEIKE
,
THIEME PETER
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Von:
Bis:
Quelle
Ingentaconnect
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Elsevier Sciencedirect Journals
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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Esp@Cenet
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