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Smart print UV system: A high–resolution maskless lithography technology for cost-effective and rapid fabrication
von
Predanocy, Martin
,
Škriniarová, Jaroslava
,
Andok, Robert
,
Nemec, Pavol
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Enhanced lift-off using toluene and chlorobenzene for a single-step positive AZ photoresist process-flow
von
Predanocy Martin
,
Nemec Pavol
,
Škriniarová Jaroslava
,
Andok, Robert
,
Hrkút Pavol
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Platinum hotplate on thermoisolated polyimide membrane as perspective device used in MEMS
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Predanocy, Martin
,
Hotový, Ivan
,
Andok, Robert
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Effects of HSQ e–beam Resist Processing on the Fabrication of ICP–RIE Etched TiO2 Nanostructures
von
Hotovy, Ivan
,
Kostic, Ivan
,
Predanocy, Martin
,
Nemec, Pavol
,
Rehacek, Vlastimil
Veröffentlicht in
Journal of Electrical Engineering
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Effects of HSQ e–beam Resist Processing on the Fabrication of ICP–RIE Etched TiO 2 Nanostructures
von
Hotovy, Ivan
,
Kostic, Ivan
,
Predanocy, Martin
,
Nemec, Pavol
,
Rehacek, Vlastimil
Veröffentlicht in
Journal of Electrical Engineering
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Growth and characterization of indium oxide films for ozone detection
von
Hotovy, Ivan
,
Predanocy, Martin
,
Hotovy, Juraj
,
Kups, T
,
Spieß, Lothar
,
Wang, Chunyu
,
Rehacek, Vlastimil
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