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METHOD AND DEVICE FOR GENERATING EUV OR SOFT X-RAY RADIATION BY MEANS OF ELECTRICALLY OPERATED PULSED DISCHARGES
von
PRÜMMER, Ralf
,
KÜPPER, Felix
,
JONKERS, Jeroen
,
CONRADS, Ralf
,
BERGMANN, Klaus
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EUV discharge lamp with moving protective component
von
JONKERS, JEROEN
,
PRÜMMER, RALF
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EUV discharge lamp with moving protective component
von
JONKERS, JEROEN
,
PRÜMMER, RALF
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Verfahren zur Verbesserung der Benetzbarkeit einer rotierenden Elektrode in einer Gasentladungslampe
von
Prümmer, Ralf
,
Bergmann, Klaus
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5
Verfahren zur Verbesserung der Benetzbarkeit einer rotierenden Elektrode in einer Gasentladungslampe
von
Bergmann, Klaus
,
Prümmer, Ralf
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Patent
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6
EUV discharge lamp with moving protective component
von
Prümmer, Ralf
,
Jonkers, Jeroen
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7
METHOD AND DEVICE FOR GENERATING OPTICAL RADIATION BY MEANS OF ELECCTRICALLY OPERATED PULSED DISCHARGES
von
CONRADS, RALF
,
BERGMANN, KLAUS
,
KÜPPER, FELIX
,
JONKERS, JEROEN
,
PRÜMMER, RALF
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Patent
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8
Verfahren zur Verbesserung der Benetzbarkeit einer rotierenden Elektrode in einer Gasentladungslampe
von
BERGMANN, KLAUS
,
PRÜMMER, RALF
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9
Method for improving the wetting properties of a rotary electrode in a gas discharge lamp
von
BERGMANN, KLAUS
,
PRÜMMER, RALF
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10
Vorrichtung zur Reinigung einer Plasma-Strahlungsquelle
von
Bischoff, Thomas
,
Pütsch, Oliver
,
Prümmer, Ralf
,
König, Georg
,
Roos, Matthias
,
Hasbun Wood, Juan Jose
,
Hagg, Michael
,
Gondek, Christoph
,
Grupp, Ariane
,
Johnigk, Carsten
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11
Method and device for generating optical radiation by means of electrically operated pulsed discharges
von
CONRADS, RALF
,
BERGMANN, KLAUS
,
PRUMMER, RALF
,
JONKERS, JEROEN
,
KUPPER, FELIX
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Patent
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12
Method and device for generating optical radiation by means of electrically operated pulsed discharges
von
CONRADS, RALF
,
BERGMANN, KLAUS
,
PRUMMER, RALF
,
JONKERS, JEROEN
,
KUPPER, FELIX
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Patent
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13
Gasentladungsquelle, insbesondere für EUV-Strahlung
von
NEFF, WILLI
,
PRUEMMER, RALF
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Patent
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14
Verfahren und Vorrichtung zum Perforieren von bogen- oder bahnenförmigem Papiermaterial
von
GILLNER, ARNOLD
,
PRUEMMER, RALF
,
REICHERT, ROLF
,
IRRGANG, STEPHAN
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Patent
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15
Automatisiertes Management von Web-Service-Systemen
von
Bochon, Ralf
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Web Resource
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Fraunhofer-Eprints - Ft
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