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Self-sustained magnetron co-sputtering of Cu and Ni
Veröffentlicht in Thin solid films
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Studies of medium frequency high power density magnetron sputtering discharges
Veröffentlicht in Vacuum
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Low pressure magnetron sputtering using ionized, sputtered species
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Properties of silicon nitride thin films obtained by reactive sputtering
Veröffentlicht in Thin solid films
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