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    Extension of CD-TEM Towards 3D Elemental Mapping

    Extension of CD-TEM Towards 3D Elemental Mapping von Baumann, Frieder H., Popielarski, Brian, Lu, Yinggang, Mitchell, Travis


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    Development of Ultra-thin TEM Lamella Preparation Technique and Its Application in Failure Analysis

    Development of Ultra-thin TEM Lamella Preparation Technique and Its Application in Failure Analysis von Zhang, Yu, Popielarski, Brian, Davidson, Kevin, Men, Long, Zhao, Wayne, Baumann, Frieder

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    Towards Routine EDX Tomography in Semiconductor Failure Analysis

    Towards Routine EDX Tomography in Semiconductor Failure Analysis von Baumann, Frieder H., Popielarski, Brian, Mitchell, Travis, Lu, Yinggang

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