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Piezoelectric Thin Films for Sensors, Actuators, and Energy Harvesting
Veröffentlicht in MRS bulletin
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Enhanced radiation tolerance in Mn-doped ferroelectric thin films
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Deformation behavior of nanograined platinum films
Veröffentlicht in Thin solid films
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PZT-Based Piezoelectric MEMS Technology
Veröffentlicht in Journal of the American Ceramic Society
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Reflection-type continuously-tunable phase shifter using PZT thin-film capacitors
Veröffentlicht in Electronics letters
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Thin-Film PZT Lateral Actuators With Extended Stroke
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Multi-Degree-of-Freedom Thin-Film PZT-Actuated Microrobotic Leg
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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