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    Defect structure in Zn+ implanted Si: HRXRD study

    Defect structure in Zn+ implanted Si: HRXRD study von Shcherbachev, Kirill, Privezentsev, Vladimir, Saraykin, Vladimir, Podgornyy, Dmitry


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    Defect structure in Zn+ implanted Si: HRXRD study

    Defect structure in Zn+ implanted Si: HRXRD study von SHCHERBACHEV, Kirill, PRIVEZENTSEV, Vladimir, SARAYKIN, Vladimir, PODGORNYY, Dmitry


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