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Influence of energetic bombardment on stress, resistivity, and microstructure of indium tin oxide films grown by radio frequency magnetron sputtering on flexible polyester substrat...
von
Carcia, P. F.
,
McLean, R. S.
,
Reilly, M. H.
,
Li, Z. G.
,
Pillione, L. J.
,
Messier, R. F.
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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Low-stress indium–tin–oxide thin films rf magnetron sputtered on polyester substrates
von
Carcia, P. F.
,
McLean, R. S.
,
Reilly, M. H.
,
Li, Z. G.
,
Pillione, L. J.
,
Messier, R. F.
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Applied physics letters
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