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Sputtering alloy films using a sintered metal composite target
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PICHULO ROBERT O
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Sputtering alloy films using a crescent-shaped aperture
von
Pichulo, Robert O
,
Rasmussen, Gregory Keller
,
McClanahan, Mark Ray
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Sputtering alloy films using a crescent-shaped aperture
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RASMUSSEN GREGORY KELLER
,
PICHULO ROBERT O
,
MCCLANAHAN MARK RAY
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Rotating film carrier and aperture for precision deposition of sputtered alloy films
von
RASMUSSEN GREGORY KELLER
,
PICHULO ROBERT O
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MCCLANAHAN MARK RAY
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Esp@Cenet
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