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Characteristics of III-V dry etching in HBr-based discharges
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Degradation-free electron cyclotron resonance plasma etching of InP
Veröffentlicht in Semiconductor science and technology
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Ion implantation doping and isolation of In0.5Ga0.5P
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Doping of In0.53Ga0.47As and In0.52Al0.48As by Si+ and Be+ ion implantation
Veröffentlicht in Journal of applied physics
VolltextArtikel -
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Ion implantation doping and isolation of In sub(0.5)Ga sub(0.5)P
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
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