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Plasma transformation of SiO films in SiO2 at room temperature
Veröffentlicht in Applied surface science
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Plasma transformation of SiO films in SiO 2 at room temperature
Veröffentlicht in Applied surface science
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Charge collection in submicron CMOS/SOI technology
Veröffentlicht in IEEE transactions on nuclear science
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Detailed characterization of Unibond material
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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