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Residual stress in deuterium implanted nominal copper coatings
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Selective synthesis and characterization of HYSYCVD-Si2N2O
Veröffentlicht in Materials chemistry and physics
VolltextArtikel -
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Selective synthesis and characterization of HYSYCVD-Si 2N 2O
Veröffentlicht in Materials chemistry and physics
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