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    Development of Polymers in O 2 Plasmas: Temperature Effects and Transition to Imperfect Anisotropy

    Development of Polymers in O 2 Plasmas: Temperature Effects and Transition to Imperfect Anisotropy von Pons, Michel, Pelletier, Jacques, Joubert, Olivier, Patrick Paniez, Patrick Paniez


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    TOWARDS A BETTER UNDERSTANDING OF POSITIVE CHEMICALLY AMPLIFIED SYSTEMS

    TOWARDS A BETTER UNDERSTANDING OF POSITIVE CHEMICALLY AMPLIFIED SYSTEMS von PANIEZ, Patrick J., PAIN, Laurent


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    Study of advanced 193nm resists: Material properties and lithographic performance

    Study of advanced 193nm resists: Material properties and lithographic performance von Mortini, Benedicte, Gally, Severine, Sassoulas, Pierre-Olivier, Prola, Alain, Paniez, Patrick J.


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    Thermal conversion of ppv precursor: characterization at different stages of the process

    Thermal conversion of ppv precursor: characterization at different stages of the process von Wéry, Jany, Dulieu, Bertrand, Baïtoul, Mimouna, Paniez, Patrick, Froyer, Gérard, Lefrant, Serge

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    Proximity E-beam exposure in submicron patterns using a silylation process

    Proximity E-beam exposure in submicron patterns using a silylation process von Vachette, Thierry G., Paniez, Patrick J., Lalanne, Frederic, Madore, Michel

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    Silylation of three component E-beam resists: application to shipley SAL 601

    Silylation of three component E-beam resists: application to shipley SAL 601 von Vachette, Thierry G., Paniez, Patrick J., Madore, Michel

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    Development of polymers in O2 plasmas : temperature effects and transition to imperfect anisotropy

    Development of polymers in O2 plasmas : temperature effects and transition to imperfect anisotropy von PONS, M, PELLETIER, J, JOUBERT, O, PANIEZ, P


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    DEVICE FOR COMBINING ENVIRONMENT AND TELECOMMUNICATION SIGNALS

    DEVICE FOR COMBINING ENVIRONMENT AND TELECOMMUNICATION SIGNALS von PANIEZ, PATRICK, VAREILLE, AIME

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    Study of advanced 193nm resists

    Study of advanced 193nm resists von Mortini, Benedicte, Gally, Severine, Sassoulas, Pierre-Olivier, Prola, Alain, J. Paniez, Patrick


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    The novolak calibration method applied to the GPC analysis of the UV photoresists

    The novolak calibration method applied to the GPC analysis of the UV photoresists von Paniez, Patrick, Weill, André

    Veröffentlicht in Microelectronic engineering

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    DEVICE FOR COMBINING ENVIRONMENT AND TELECOMMUNICATION SIGNALS

    DEVICE FOR COMBINING ENVIRONMENT AND TELECOMMUNICATION SIGNALS von PANIEZ, PATRICK, VAREILLE, AIME

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    DISPOSITIF DE COMBINAISON DE SIGNAUX D'ENVIRONEMENT ET DE TELECOMMUNICATIONS

    DISPOSITIF DE COMBINAISON DE SIGNAUX D'ENVIRONEMENT ET DE TELECOMMUNICATIONS von PANIEZ PATRICK, VAREILLE AIME

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    Cinétique de la diffusion de l'eau dans un film mince de photoresist

    Cinétique de la diffusion de l'eau dans un film mince de photoresist von Sebillote, Franc̨ois, Weill, André, Paniez, Patrick

    Veröffentlicht in Die Makromolekulare Chemie

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    DEVICE FOR COMBINING ENVIRONMENT AND TELECOMMUNICATION SIGNALS von PANIEZ, PATRICK, VAREILLE, AIME

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    DEVICE FOR COMBINING ENVIRONMENT AND TELECOMMUNICATION SIGNALS

    DEVICE FOR COMBINING ENVIRONMENT AND TELECOMMUNICATION SIGNALS von PANIEZ, PATRICK, VAREILLE, AIME

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    DISPOSITIF DE COMBINAISON DE SIGNAUX D'ENVIRONEMENT ET DE TELECOMMUNICATIONS

    DISPOSITIF DE COMBINAISON DE SIGNAUX D'ENVIRONEMENT ET DE TELECOMMUNICATIONS von PANIEZ PATRICK, VAREILLE AIME

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    Cinétique de la diffusion de l'eau dans un film mince de photoresist von Sebillote, Franc̨ois, Weill, André, Paniez, Patrick

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    Trajectoires et origines: Enquête sur la diversité des populations en France von Beauchemin, Cris, Hamel, Christelle, Simon, Patrick

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    Tourisme à Saint Denis

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