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    Characteristics of Disk-type Linear Ultrasonic Motor for Application to x-y Stage

    Characteristics of Disk-type Linear Ultrasonic Motor for Application to x-y Stage von Lim Kee-Joe, Park Seong-Bee, Yun Yong-Jin, Lee Kee-Young, Kang Seong-Hwa, Lee Jong-Sub, Jeong Su-Hyun


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    Characteristics of Disk-type Linear Ultrasonic Motor for Application to x-y Stage

    Characteristics of Disk-type Linear Ultrasonic Motor for Application to x-y Stage von Lim, Kee-Joe, Park, Seong-Bee, Yun, Yong-Jin, Lee, Kee-Young, Kang, Seong-Hwa, Lee, Jong-Sub, Jeong, Su-Hyun


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