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Quantum-dimensional structures produced by ion implantation
von
Gerasimenko, N.N.
,
Parhomenko, Yu.N.
,
Troitskiy, V.Yu
,
Irzhak, A.V.
,
Pavluchenko, M.N.
,
Djamanbalin, K.K.
,
Belogorohov, A.S.
Veröffentlicht in
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
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