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A study of the leakage current in TiN/HfO2/TiN capacitors
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Electron photoemission from conducting nitrides (TiNx,TaNx) into SiO2 and HfO2
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Effective work function modulation by controlled dielectric monolayer deposition
Veröffentlicht in Applied physics letters
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TiN x / HfO 2 interface dipole induced by oxygen scavenging
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Electrostatic potential perturbation at the polycrystalline Si∕HfO2 interface
Veröffentlicht in Applied physics letters
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A study of the leakage current in TiN/Hf02/TiN capacitors
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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