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In-process detection of microscratching during CMP using acoustic emission sensing technology
von
Tang, Jianshe
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Dornfeld, David
,
Pangrle, Suzette Keefe
,
Dangca, Alvin
Veröffentlicht in
Journal of electronic materials
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Method for manufacturing a memory device having a nanocrystal charge storage region
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WANG CONNIE PININ
,
PANGRLE SUZETTE KEEFE
,
KRIVOKAPIC ZORAN
,
YIN JINSONG
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Method for manufacturing a memory device having a nanocrystal charge storage region
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Wang, Connie Pin-Chin
,
Krivokapic, Zoran
,
Pangrle, Suzette Keefe
,
Chiu, Robert
,
You, Lu
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Method for manufacturing a memory device having a nanocrystal charge storage region
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CHIU ROBERT
,
WANG CONNIE PININ
,
PANGRLE SUZETTE KEEFE
,
KRIVOKAPIC ZORAN
,
YOU LU
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Method for manufacturing a memory device having a nanocrystal charge storage region
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Wang, Connie Pin-Chin
,
Krivokapic, Zoran
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Pangrle, Suzette Keefe
,
Yin, Jinsong
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Wang, Connie Pin-Chin
,
You, Lu
,
Krivokapic, Zoran
,
Besser, Paul Raymond
,
Pangrle, Suzette Keefe
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von
BESSER PAUL RAYMOND
,
WANG CONNIE PININ
,
PANGRLE SUZETTE KEEFE
,
KRIVOKAPIC ZORAN
,
YOU LU
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