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Bond pad configurations for semiconductor dies
von
KELKAR NIKHIL VISHWANATH
,
PUSHPALA SAGAR
,
ANKIREDDI SESHASAYEE SS
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BOND PAD CONFIGURATIONS FOR SEMICONDUCTOR DIES
von
KELKAR NIKHIL VISHWANATH
,
PUSHPALA SAGAR
,
ANKIREDDI SESHASAYEE SS
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MOST contact structure, especially a gate contact structure, is produced using an etch-stop layer to protect the gate and adjacent side wall spacer during contact opening etching
von
PUSHPALA, SAGAR
,
KITCH, VASSILI
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Dual side fabricated semiconductor wafer
von
PUSHPALA
,
SAGAR
,
NAEM
,
ABDALLA
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5
Production of integrated circuit elements where CD microloading is eliminated or controlled and etching biasing is eliminated or minimized
von
JIN, RAYMOND R
,
PUSHPALA, SAGAR M
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Esp@Cenet
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