Suchergebnisse - PURNAWAN, RIONARD | OPAC THWS

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HDP-CVD SiON films for gap-fill von PURNAWAN RIONARD, LEE YOUNG S, MUNGEKAR HEMANT P, HUA ZHONG QIANG, JAKUBOWICZ AGNIESZKA, KAMATH SANJAY, ZYGMUNT WALTER

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HDP-CVD SiON films for gap-fill von Mungekar, Hemant P, Lee, Young S, Jakubowicz, Agnieszka, Hua, Zhong Qiang, Purnawan, Rionard, Kamath, Sanjay, Zygmunt, Walter

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MULTI-STEP DEP-ETCH-DEP (DEPOSITION-ETCHING-DEPOSITION) HIGH-DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS FOR FILLING DIELECTRIC GAP von PURNAWAN RIONARD, YIEH ELLIE Y, BLOKING JASON THOMAS, LEE YOUNG S, HUA ZHONG QIANG, WANG ANCHUAN

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MULTI-STEP DEP-ETCH-DEP HIGH DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSES FOR DIELECTRIC GAPFILLS von PURNAWAN RIONARD, YIEH ELLIE Y, BLOKING JASON THOMAS, LEE YOUNG S, HUA ZHONG QIANG, WANG ANCHUAN

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MULTI-STEP DEP-ETCH-DEP HIGH DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSES FOR DIELECTRIC GAPFILLS von PURNAWAN RIONARD, YIEH ELLIE Y, BLOKING JASON THOMAS, LEE YOUNG S, HUA ZHONG QIANG, WANG ANCHUAN

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MULTI-STEP DEP-ETCH-DEP HIGH DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSES FOR DIELECTRIC GAPFILLS von PURNAWAN RIONARD, YIEH ELLIE Y, BLOKING JASON THOMAS, HUA ZHONG QIANG, WANG ANCHUAN, LEE, YOUNG S

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HDP-CVD SION FILMS FOR GAP-FILL von PURNAWAN RIONARD, LEE YOUNG S, MUNGEKAR HEMANT P, HUA ZHONG QIANG, JAKUBOWICZ AGNIESZKA, KAMATH SANJAY, ZYGMUNT WALTER

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Multi-step dep-etch-dep high density plasma chemical vapor deposition processes for dielectric gapfills von PURNAWAN RIONARD, BLOKING JASON THOMAS, HUA ZHONG QIANG, WANG ANCHUAN

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Multi-step dep-etch-dep high density plasma chemicl vapor deposition processes for dielectric gapfills von PURNAWAN, RIONARD, WANG, ANCHUAN, HUA, ZHONG-QIANG, YIEH, ELLIE Y, BLOKING, JASON THOMAS, LEE, YOUNG S

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