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Suchergebnisse - PURANDARE, Moreshwar Narayan
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1
BOND PROTECTION FOR AN ELECTROSTATIC CHUCK IN A PLASMA PROCESSING CHAMBER
von
MITROVIC, Slobodan
,
SAMULON, Eric
,
KONDEKAR, Neha
,
YU, Yixuan
,
PURANDARE, Moreshwar Narayan
,
NARENDRNATH, Kadthala R
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2
ELECTROSTATIC CHUCKS WITH SELF-SEALING GAS CONDUITS AND/OR REDUCED CLOGGING DUE TO RESIDUE
von
BEHZIZ, Behnam
,
WU, Benny
,
PURANDARE, Moreshwar Narayan
,
NARENDRNATH, Kadthala R
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3
자체시일링 가스 도관들 및/또는 잔류물로 인한 클로깅 감소를 갖는 정전 척들
von
WU BENNY
,
PURANDARE MORESHWAR NARAYAN
,
NARENDRNATH KADTHALA R
,
BEHZIZ BEHNAM
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4
Bond protection for an electrostatic chuck in a plasma processing chamber
von
KONDEKAR, NEHA
,
YU, YIXUAN
,
SAMULON, ERIC
,
PURANDARE, MORESHWAR NARAYAN
,
MITROVIC, SLOBODAN
,
NARENDRNATH, KADTHALA R
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Patent
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5
Electrostatic chucks with self-sealing gas conduits and/or reduced clogging due to residue
von
PURANDARE, MORESHWAR NARAYAN
,
WU, BENNY
,
NARENDRNATH, KADTHALA R
,
BEHZIZ, BEHNAM
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Patent
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Electric Machines Not Otherwise Provided For
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Esp@Cenet
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