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PZT-Based Piezoelectric MEMS Technology
Veröffentlicht in Journal of the American Ceramic Society
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Piezoelectric PZT MEMS technologies for small-scale robotics and RF applications
Veröffentlicht in MRS bulletin
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Fatigue-induced grain coarsening in nanocrystalline platinum films
Veröffentlicht in Acta materialia
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Phenomenological Model for Defect Interactions in Irradiated Functional Materials
Veröffentlicht in Scientific reports
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Multi-Degree-of-Freedom Thin-Film PZT-Actuated Microrobotic Leg
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Total Ionizing Dose Effects in Piezoelectric MEMS Relays
Veröffentlicht in IEEE transactions on nuclear science
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Piezoelectric RF MEMS Switches on Si-on-Sapphire Substrates
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Integrated thin-film piezoelectric traveling wave ultrasonic motors
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Thin-Film Piezoelectric-on-Silicon Resonant Transformers
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Role of oxide seed layer in plastic response of epitaxially grown textured metal films
Veröffentlicht in Acta materialia
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