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Simulation of linear magnetron discharges in 2D and 3D
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Correlation of structural and optical properties using virtual materials analysis
Veröffentlicht in Optics express
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A Coaxial Nozzle Attachment Improving the Homogeneity of the Gas Flow Sputtering
Veröffentlicht in Coatings (Basel)
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3D PIC-MC simulation of anode effects in dual magnetron discharges
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Practice-oriented optical thin film growth simulation via multiple scale approach
Veröffentlicht in Thin solid films
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Model based investigation of Ar+ ion damage in DC magnetron sputtering
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Numerical optimization of baffles for sputtering optical precision filters
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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