Silicon fusion bonding and its characterization von Harendt, C, Graf, H G, Hofflinger, B, Penteker, E

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Wafer fusion bonding and its application to silicon-on-insulator fabrication von Harendt, C, Appel, W, Graf, H -G, Hofflinger, B, Penteker, E

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Wafer bonding for intelligent power ICs: integration of vertical structures von Harendt, C., Wondrak, W., Apel, U., Graf, H.-G., Hofflinger, B., Korec, J., Penteker, E.

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Silicon-on-insulator films obtained by etchback of bonded wafers von HARENDT, C, APPEL, W, GRAF, H.-G, HÖFFLINGER, B, PENTEKER, E

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Silicon on insulator material by wafer bonding von HARENDT, C, HUNT, C. E, APPEL, W, GRAF, H.-G, HOÊFFLINGER, B, PENTEKER, E

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Verfahren zur Diagnose von Brennkraftmaschinen von PENTEKER, MARTIN., 75233 TIEFENBRONN, DE

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Funktionsüberwachte Kraftstoffeinspritzanlage von PENTEKER, MARTIN. , 75233 TIEFENBRONN, DE

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Anhängevorrichtung für insbesondere Personenkraftwagen von RIEHLE, JOERG, 70439 STUTTGART, DE, ZIEGLER, THOMAS, 71706 MARKGROENINGEN, DE, BALLMANN, THOMAS, 71696 MOEGLINGEN, DE, PENTEKER, THOMAS, 71696 MOEGLINGEN, DE

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