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Shadow ring lift pin
von
Tokur Mohana, Srinivas
,
Yadamane, Sandesh
,
Ravi, Jallepally
,
Patil Shanthaveeraswamy, Shreyas
,
Huang, Zubin
,
Singh, Harpreet
,
Koppa, Manjunatha
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Shadow ring lift plate
von
Tokur Mohana, Srinivas
,
Yadamane, Sandesh
,
Ravi, Jallepally
,
Patil Shanthaveeraswamy, Shreyas
,
Huang, Zubin
,
Singh, Harpreet
,
Koppa, Manjunatha
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Shadow ring lift assembly
von
Tokur Mohana, Srinivas
,
Yadamane, Sandesh
,
Ravi, Jallepally
,
Patil Shanthaveeraswamy, Shreyas
,
Huang, Zubin
,
Singh, Harpreet
,
Koppa, Manjunatha
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4
HARDWARE TO UNIFORMLY DISTRIBUTE ACTIVE SPECIES FOR SEMICONDUCTOR FILM PROCESSING
von
ZHAO, Mingrui
,
YADAMANE, Sandesh
,
PATIL SHANTHAVEERASWAMY, Shreyas
,
WU, Kai
,
SINGH, Harpreet
,
KOPPA, Manjunatha
,
TOKUR MOHANA, Srinivas
,
HUANG, Zubin
,
RAVI, Jallepally
,
WANG, Peiqi
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HARDWARE TO UNIFORMLY DISTRIBUTE ACTIVE SPECIES FOR SEMICONDUCTOR FILM PROCESSING
von
ZHAO, Mingrui
,
YADAMANE, Sandesh
,
PATIL SHANTHAVEERASWAMY, Shreyas
,
WU, Kai
,
SINGH, Harpreet
,
KOPPA, Manjunatha
,
TOKUR MOHANA, Srinivas
,
HUANG, Zubin
,
RAVI, Jallepally
,
WANG, Peiqi
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6
CONTACTLESS LATCH AND COUPLING FOR VACUUM WAFER TRANSFER CASSETTE
von
NAGARAJAN, Kumaresan
,
CONSTANT, Andrew J
,
KARAZIM, Michael P
,
PATIL SHANTHAVEERASWAMY, Shreyas
,
GAUTAM, Ribhu
,
VELLORE, Kim Ramkumar
,
SINGH, Vijay
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7
CONTACTLESS LATCH AND COUPLING FOR VACUUM WAFER TRANSFER CASSETTE
von
NAGARAJAN, Kumaresan
,
CONSTANT, Andrew J
,
SHANTHAVEERASWAMY, Shreyas Patil
,
KARAZIM, Michael P
,
GAUTAM, Ribhu
,
VELLORE, Kim Ramkumar
,
SINGH, Vijay
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8
SHADOW RING LIFT PLATE
von
PATIL SHANTHAVEERASWAMY, SHREYAS
,
JALLEPALLY, RAVI
,
TOKUR MOHANA, SRINIVAS
,
SINGH, HARPREET
,
KOPPA, MANJUNATHA
,
HUANG, ZUBIN
,
YADAMANE, SANDESH
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SHADOW RING LIFT ASSEMBLY
von
PATIL SHANTHAVEERASWAMY, SHREYAS
,
JALLEPALLY, RAVI
,
TOKUR MOHANA, SRINIVAS
,
SINGH, HARPREET
,
KOPPA, MANJUNATHA
,
HUANG, ZUBIN
,
YADAMANE, SANDESH
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10
SHADOW RING LIFT PIN
von
PATIL SHANTHAVEERASWAMY, SHREYAS
,
JALLEPALLY, RAVI
,
TOKUR MOHANA, SRINIVAS
,
SINGH, HARPREET
,
KOPPA, MANJUNATHA
,
HUANG, ZUBIN
,
YADAMANE, SANDESH
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