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Manufacturing integrated circuits
von
PIERRAT CHRISTOPHE
,
SHARAN ATUL
,
WEED J. TRACY
,
PATI YAGYENSH (BUNO)
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Patent
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2
MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUITS USING PHASE-SHIFTING MASKS
von
WEED, J., TRACY
,
PIERRAT, CHRISTOPHE
,
PATI, YAGYENSH, (BUNO)
,
SHARAN, ATUL
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Patent
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3
Herstellung integrierter Schaltungen
von
PIERRAT, CHRISTOPHE
,
SHARAN, ATUL
,
PATI, YAGYENSH BUNO
,
WEED, TRACY J
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Manufacturing integrated circuits using phase-shifting masks
von
YAGYENSH (BUNO) PATI
,
CHRISTOPHE PIERRAT
,
ATUL SHARAN
,
J. TRACY WEED
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5
MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUITS
von
WEED, J., TRACY
,
PIERRAT, CHRISTOPHE
,
PATI, YAGYENSH, (BUNO)
,
SHARAN, ATUL
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Patent
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