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HOHLSPINDEL UND SCHLEUDER-, SPÜL- UND TROCKENVORRICHTUNG MIT EINER DERARTIGEN SPINDEL
von
PASCAL, ROY WINSTON
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HOLLOW CORE SPINDLE AND SPIN, RINSE, AND DRY MODULE INCLUDING THE SAME
von
PASCAL, ROY, WINSTON
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Hollow core spindle and spin, rinse, and dry module including the same
von
Pascal, Roy Winston
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Nozzle for rinsing the backside of a semiconductor wafer
von
PASCAL ROY WINSTON
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5
Hollow core spindle and spin, rinse, and dry module including the same
von
ROY WINSTON PASCAL
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6
METHOD FOR CONTROLLING AIRFLOW ON A BACKSIDE OF A SEMICONDUCTOR WAFER DURING SPIN PROCESSING
von
BLIVEN, BRIAN
,
PASCAL, ROY WINSTON
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7
BOWL, SPIN, RINSE, AND DRY MODULE, AND METHOD FOR LOADING A SEMICONDUCTOR WAFER INTO A SPIN, RINSE, AND DRY MODULE
von
PASCAL, ROY, WINSTON
,
BLIVEN, BRIAN, M
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8
METHOD FOR CONTROLLING AIRFLOW ON A BACKSIDE OF A SEMICONDUCTOR WAFER DURING SPIN PROCESSING
von
BLIVEN BRIAN M
,
PASCAL ROY WINSTON
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9
Bowl, spin, rinse, and dry module, and method for loading a semiconductor wafer into a spin, rinse, and dry module
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BLIVEN BRIAN M
,
PASCAL ROY WINSTON
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10
Bowl for processing semiconductor wafers
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BLIVEN BRIAN M
,
PASCAL ROY WINSTON
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11
Bowl, spin, rinse, and dry module, and method for loading a semiconductor wafer into a spin, rinse, and dry module
von
PASCAL, ROY WINSTON
,
BLIVEN, BRIAN M
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12
BOWL, SPIN, RINSE, AND DRY MODULE, AND METHOD FOR LOADING A SEMICONDUCTOR WAFER INTO A SPIN, RINSE, AND DRY MODULE
von
PASCAL, ROY, WINSTON
,
BLIVEN, BRIAN, M
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Wafer scrubbing brush core
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GARDNER DOUGLAS S
,
ANDERSON DONALD E
,
SVIRCHEVSKI JULIA S
,
RAVKIN MIKE
,
TREICHEL HELMUTH W
,
PASCAL ROY WINSTON
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WAFER SCRUBBING BRUSH CORE
von
DICKEY TANLIN
,
GARDNER DOUGLAS G
,
ANDERSON DONALD E
,
SVIRCHEVSKI JULIA S
,
RAVKIN MIKE
,
TREICHEL HELMUTH W
,
PASCAL ROY WINSTON
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15
Wafer scrubbing brush core
von
DICKEY TANLIN
,
GARDNER DOUGLAS S
,
ANDERSON DONALD E
,
SVIRCHEVSKI JULIA S
,
RAVKIN MIKE
,
TREICHEL HELMUTH W
,
PASCAL ROY WINSTON
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