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Low power silicon thermal sersors and microfluidic devices based on the use of porus silicon sealed air cavity technology or microchannel technology
von
NASSIOPOULOU ANDROULA G
,
PAGONIS DIMITRIOS NICKOLAOS
,
KALTSAS GRIGORIS
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"LOW POWER SILICON THERMAL SENSORS AND MICROFLUIDIC DEVICES BASED ON THE USE OF POROUS SILICON SEALED AIR CAVITY TECHNOLOGY OR MICROCHANNEL TECHNOLOGY"
von
KALTSAS, GRIGORIS
,
NASSIOPOULOU, ANDROULA G
,
PAGONIS, DIMITRIOS, NICKOLAOS
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von
NASSIOPOULOU, ANDROULA, G
,
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,
PAGONIS, DIMITRIOS, NICKOLAOS
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